在⾼⾵險、⾼潔淨度的半導體製造環境中，防⽕填塞系統早已不再只是⽤於阻擋⽕焰擴散的結構配件，更是維繫潔淨室污染防控、壓⼒穩定與災後快速恢復能⼒的關鍵防線。⽕災⼀旦導致煙霧回滲、化學物質洩漏或空調系統失效，將對產品良率與產能造成毀滅性打擊。因此，防⽕填塞的設計與驗證應跳脫傳統觀念，朝向標準化、系統化與可追溯的⽅向發展。

防⽕填塞的規範與要求

• FM 標準規範：根據 FM DS 7-7《半導體製造設施》規範，所有穿越防⽕牆、樓板與天花板的開孔，皆需使⽤ FM 認證的防⽕填塞材料，並由取得 FM4991 認證的合格承包商施⼯。其耐⽕等級應等同或⾼於原有結構，且針對設備區的貫穿點，須具備氣密性能，每平⽅⽶最⼤空氣洩漏量不得超過 2.1 m³/min，以防⽌⽕災初期煙霧、熱氣與微粒迅速擴散⾄關鍵製程區。FM 標準更要求系統應每年⾄少進⾏⼀次檢查，以確保持續有效的阻隔功能。
• 潔淨室專屬要求：FM DS 1-56《潔淨室》亦強調，所有穿越不燃樓板與防⽕牆的管線或公⽤設施，皆應以認可材料進⾏密封封堵，並建⽴每半年⼀次的檢視機制，覆蓋牆⾯、地坪與防⽕⾨等關鍵部位，以確保區域分隔的完整性與防護功能。同時，潔淨室內所採⽤之建材應符合 ASTM E84 測試要求，其發煙量（SDI）不得⼤於 0.4 (m/s^1/2)(g/g)(kW/m)^(2/3)，以降低⽕災時煙霧對潔淨環境的危害。

材料選擇與污染控制

防⽕填塞材料亦需通過潔淨室逸氣測試與污染分析，確保不會釋放揮發性污染物（AMC, Airborne Molecular Contaminants），避免對製程設備與產品品質造成影響。依據 ISO 14644-8 與 SEMI F21 等標準，材料須經 ASTM E595 測試與 GC/MS 氣相層析質譜分析，確認 Total Mass Loss（TML）與 Collected Volatile Condensable Materials（CVCM）皆於可接受範圍內，且不得含有矽氧烷、含氯氣體、有機溶劑等⾼⾵險成分，⽅可納⼊⾼階製造場域使⽤，實現防⽕與防污染雙重⽬標。

氣密與⽔密性能的重要性

防⽕填塞系統亦應具備優異的氣密與⽔密性能。UL 所定義的 L 等級可評估材料在標準壓差（75 Pa）下的空氣滲漏量，是維持潔淨室壓差穩定與抑制分⼦污染的重要依據；⽽ W 等級則證明材料能承受 72 ⼩時靜⽔壓⽽不滲漏，對於可能接觸冷凝⽔、清洗液或潮濕環境的潔淨區域⾄關重要。因此，UL 的 L/W 等級已成為潔淨室選⽤防⽕填塞系統的重要參考指標。

聯索建築科技的標準化應對策略

針對上述要求，聯索建築科技提出完整的防⽕填塞標準化應對策略，從設計階段的圖⾯審查、材料選型，到現場安裝查驗與最終檢測報告發佈，全⾯整合 FM、UL 與 CNS 標準，並配合 IAS A 型檢查制度，提供具國際效⼒的查驗服務與合規聲明。透過這套系統化流程，企業得以有效落實從「污染控制」到「營運韌性」的潔淨室防⽕策略，達成不中斷、不污染、不損失的核⼼⽬標。

從污染控制到營運韌性：無塵室防⽕填塞的標準化應對策略 | 光電半導體 | 商情 | 經濟日報 :

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