文章分類Article

半導體設施 FM 標準及認證防爆防火⼀體化解決方案

、前言:高科技廠房潛在風險與 FM 標準的關鍵價值

在高科技製造領域,尤其是半導體、光伏與面板產業,生產環境複雜且高度危險。大量使用的易燃、易爆、自燃性氣體(如氫氣 H₂、矽烷 SiH₄)與易燃液體,加上高能量密度製程(如 EUV 極紫外微影)使得火災與爆炸風險劇增。

事故一旦發生,不僅可能導致重大人員傷亡和設備損毀,還可能污染無塵室環境,造成產線中斷,對企業營運造成毀滅性衝擊。

在此背景下,遵循 FM 國際工業安全標準,成為構建高科技廠房安全防護體系、降低風險與滿足保險要求的基礎。其中,FMDS 7-7《Semiconductor Fabrication Facilities》等標準,已成為高風險產業結構安全與災害預防設計的核心參考。

FM 標準主張「本質安全」原則,強調源頭控管——例如使用 FM 4910 認證的低燃或不燃材料,用於工具、風管與排氣設備。

然而,對於無法完全排除風險的區域,如 HPM 氣體房與化學品間,FM 標準進一步提出限損結構(DLC)策略。該策略結合「洩壓」與「防爆」兩大機制,旨在爆炸發生時,將破壞侷限於特定空間,保護人員與關鍵設施安全。

聯索建築科技所提出的整體解決方案,適用於以下高風險場所與場景:

  • 氣體鋼瓶儲存站
  • 溶劑/光阻劑安全調配區
  • 危險廢棄物暫存收集站
  • HPM 氣體房、化學品混合室、氫氣純化區等爆燃潛勢區

、洩爆解決方案:快速釋放壓力,保護結構完整(FMDS 1-44

洩爆設計是限損結構的首要防線,關鍵在於在爆燃初期透過特定的洩壓路徑,迅速將壓力導出,避免災難性結構破壞。

FM 洩爆設計核心要點:

  • 洩壓面積 Av:依爆炸物反應性、空間體積與表面積(As/Av)科學計算。
  • 板材質:輕質低慣性(建議 ≤14.6 kg/m²),可即時回應壓力變化。
  • 開啟壓力 Pv:推薦設計為 0.96 kPa(20 psf)。
  • FM認證洩爆扣件:包括面板、螺絲、墊片、牽引索等所有組件。

FM 認證洩爆系統優勢:

  1. 洩爆開啟壓力值與風荷載設計進行調整。
  2. 專利扣件設計,含抗誤觸碗狀墊片、設定扭力安裝、牽引索斷裂力 ≥20kN(SUS304)。

三、防爆解決方案:強化結構抵禦衝擊(FMDS 1-44

當洩壓系統負責快速排壓時,防爆結構則必須抵抗殘餘衝擊,確保人員與設施安全。

核心要求:

  • 設計壓力 Pr 應高於 Pv,建議 ≥50 psf。
  • 結構建材 建議選用鋼筋混凝土或 CNS 認證防火防爆複合板。
  • 防爆區域天花板與牆體需具等效防護能力,確保整體防爆單元穩定性。

防火防爆板配置:

  • CNS 測試防火時效最高 3 小時。
  • 材料達 CNS 耐燃一級標準。
  • 可提供防火防爆牆/天花板結構分析報告,符合 FMDS 1-44 要求。

四、預製式化學品儲存貨櫃屋(FMDS 7-29

FM 標準建議將易燃液體與氣體鋼瓶儲存於符合規範的獨立建築中,以減少對主體廠房的直接風險。

核心要求包括:

  • 建築須獨立設棟,配置次級圍堤、防爆電氣、自動滅火系統與防火構造。
  • 氣體鋼瓶儲存應依 FMDS 7-50 規範管理,並透過 DLC 結構與無塵室分隔。

貨櫃屋解決方案特點:

  • 採用標準 20 呎貨櫃結構。
  • 配置 FM 認證岩棉夾芯板、FM認證洩爆扣件與高強度牽引鋼索。
  • 可依需求整合 150mm 防溢圍堤,預留防爆電氣與滅火系統等機電接口。

五、總結:選擇聯索,打造符合 FM 標準與認證的防爆防火保護體系

聯索建築科技結合對 FMDS 1-44、7-7、1-56、7-29、7-32 等標準的深度理解與在地化工程經驗,提供完整整合方案:

  • FM 認證洩爆系統
  • FM 等級防火防爆牆/天花板
  • FM 標準預製化學品儲存貨櫃屋

我們不僅提供產品與設計,更能成為您高科技廠房風險管理的長期策略夥伴,全面協助提升設施安全韌性,保障人員與資產安全。


聯索建築科技:半導體設施FM標準及認證防爆防⽕⼀體化解決⽅案 | 光電半導體 | 商情 | 經濟日報 :

https://money.udn.com/money/story/5735/8664389?from=edn_search_result

TOP